檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "蒸鍍".ckeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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本研究以熱蒸鍍方式在矽(100)基板上成長鐵之奈米結構，分別以蒸鍍源溫度、通氬氣壓力、蒸鍍時間作為製程參數。利用XRD進行試片結構分析、SEM觀察表面形態、EDS作元素分析及VSM觀測樣品磁性質。 …
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熱電薄膜發電器乃利用熱電效應，將溫度差轉為電能輸出。熱電薄膜發電器主要用微機電製程，利用熱蒸鍍沉積熱電薄膜並以濺鍍沉積鋁橋。量測方式以溫控式加熱器給予熱源，經由Agilent 34970A資料蒐集交…
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為達到微型光譜儀技術完全自主之目的，本研究主要目的為開發二階線性漸變濾波片通用設計流程，此設計流程演算法適用於任何機型之蒸鍍系統，可自由調控模型參數，進而可模擬加入擋板後基材上膜厚分布情形，以利設計…
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本文探討鈦(Ti)薄膜及氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)薄膜沈積於不同基材的殘留應力。鈦以電子束蒸鍍及射頻濺鍍製程沈積200nm厚度薄膜於矽晶圓基材表面上；氧化銦錫以射頻濺鍍製…